专家简介：

教育背景

1998.09-2002.07  清华大学机械工程系                                    工学学士

2002.09-2008.07  清华大学精密仪器与机械学系          工学博士

工作履历

2008.07-2010.07  清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 博士后

2010.08-2012.12  清华大学精密仪器与机械学系设计工程研究所 助理研究员

2013.01-现在              清华大学机械工程系设计工程研究所                            副教授

学术兼职

Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics（SCI）  审稿人

Plasma Science and Technology（SCI）                                                审稿人

中国科学?技术科学（SCI）                                                                审稿人

奖励与荣誉

1. 2009年获得国家科学技术进步二等奖（100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化项目，清华大学排名第三，校内主要完成人）
2. 2013年获得清华大学优秀班主任二等奖

研究领域

IC装备多领域建模、工艺仿真与设计

机械设计理论与方法